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标题:数字型压力传感器芯体
产品概述
数字型压力传感器芯体产品特点
● 具有表压、绝压和密封表压形式
● 隔离式结构,适用于多种流体介质
数字型压力传感器芯体应用领域
● 压力检测仪表
● 制冷设备和空调系统
● 液压系统及开关
● 压力校准仪器
技术规格
量程: | -100kPa~0~60MPa |
压力类型: | 表压、绝压和密封表压型 |
过 压: | 1.5倍满量程压力 |
精 度: | ±0.25%FS |
供电电源: | (5±0.1)V DC;(3.3±0.1)V DC |
长期稳定性: | ±0.2%FS/年 |
工作温度范围: | -20~80℃ |
贮存温度: | -40℃~125℃ |
振 动: | 10g,20Hz~2000Hz |
冲 击: | 100g,11ms |
技术特点:
1、灵敏度高
扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50?80倍,它的满量程信号输出在80-100mv左右。对接口电路适配性好,应用成本相应较低。由于它输入激励电压低,输出信号大,且无机械动件损耗,因而分辨率*。
2、精度高
扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体,无机械动件连接转换环节,所以重复性和迟滞误差很小。由于硅材料的刚性好,形变小,因而传感器的线性也非常好,因此综合表态精度很高。
3、可靠性高
扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级,膜片zui大位移量在来微米数量级,且无机械磨损、无疲劳、无老化。平均*时间长,性能稳定,可靠性高。
4、频响高
由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高,一般在50KC。制造过程采用了集成工艺,膜片的有效面积可以很小,配以刚性结构前置安装特殊设计,使传感器频率响应很高,使用带宽可达零频至100千赫兹。
5、温度性能好
随着集成工艺技术进步,扩散硅敏感膜的四个电阻*性得到进一步提高,原始的手工补偿已被激光调阻、 计算机自动修整技术所替代,传感器的零位和灵敏度温度系数已达10-5/°C数量级,工作温度也大幅度提高。
6、抗电击穿性能好
由于采用了特殊材料和装配工艺,扩散硅传感器不但可以做到130℃正常使用,在强磁场、高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击。
7、耐腐蚀性好
由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能好,即使传感器受压面不隔离,也能在普通使用中适应各种介质。硅材料又与硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现。加之它的低电压、低电流、低功耗、低成本和本质安全防爆的特点,可替代诸多同类型的同功能产品,具有*良的性能价格比。